XDS100B渦旋式真空泵
概述
XDS100B 是滾軸增壓泵，具備專門針對高抽速用途的泵送機械裝置。與所有增壓泵一樣，它需要與主泵一同使用，非常適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時，XDS100B 針對最大抽速進行了優化，因此非常適合超高吞吐量的 LCMS 應用。先進的泵設計使得末端密封磨損幾乎消失，也就減少了維修干預，盡可能延長正常運行時間。
變換器驅動允許泵連接到單相電源，控制著電機的特性，確保泵總是以優化速度運行，并使用戶可以對泵進行遠程控制。
技術
滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來產生非接觸式新月形氣泡，并通過軌道運行不斷對其進行壓縮。這意味著，與油密封旋轉泵不同，在泵移動量中不需要密封劑或潤滑劑
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特點優勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑，完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成，降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz
技術參數
抽速 | |
50?或?60Hz | 95?m3h-1/56?ft3min-1 |
極限真空（總壓力）* | <1?x?10-2?mbar?/?<8?x?10-3?Torr |
最大連續進氣口壓力 | 20?mbar/15?Torr |
最大連續出口壓力 | 60?mbar?/?45?Torr |
短時內進氣口處的最大允許壓力 | 0.5?bar?表壓/7?psig |
要從大氣抽空的最大真空腔體積 | 100?升 |
用于循環負載的最大真空腔體積?–?最大為每小時?6 | 50?升 |
電機功率 | 0.52?kW |
標稱轉速 | 1750?rpm |
重量 | 48?kg/105?lb |
入口法蘭 | NW40 |
排氣口法蘭 | NW40 |
噪音級別 | 52.1?dB(A) |
振動 | <4.5mms?-1?(rms) |
密封性（靜態） | <1?x?10-6?mbar?ls-1 |
工作溫度范圍 | 10?至?40?°C/50?至?104?°F |
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